Производитель: Zygo Corp., США

Глубина измерения рельефа поверхности (шероховатость): до 100 мкм с разрешением 0.1 нм по вертикали и 0.64 мкм (50Х) по горизонтали в зависимости от объектива.

Результаты в виде:

• изображение плоской поверхности с цветным распределением микро-неровностей по высоте;


• объемное изображение тестируемой поверхности с цветным распределением микронеровностей по высоте и размерами поля обзора в зависимости от объектива;


• профиль рельефа в плоскости сечения;


• черно-белое изображение тестируемой поверхности.