Лабораторная установка нанесения алмазоподобных углеводородных покрытий
Лабораторная установка нанесения алмазоподобных углеводородных покрытий
|
Производитель: ИЭФ УрО РАН, Россия
Нанесение покрытий из аморфного углерода толщиной до 10 мкм в плазме смеси аргона и ацетилена со скоростью осаждения до 5 мкм/ч на поверхность образцов с общей площадью до 100 см2.
|
|
|
|