Лабораторная установка ионной имплантации
Лабораторная установка ионной имплантации
|
Производитель: ИЭФ УрО РАН, Россия
Имплантация ионов
газов ( Ar, N2, O2, ...).
Основные характеристики:
-
энергия ионов – 40 кэВ;
- ток пучка 50 мА;
- сечение пучка 100 см2.
Имплантация ионов азота в ВТ6.
Энергия 30 кэВ.
Флюенс 3×1017 см–2.
|
|
|
|
|