Производитель: ИЭФ УрО РАН, Россия

Имплантация ионов газов ( Ar, N₂, O₂, ...).

Основные характеристики:

• энергия ионов – 40 кэВ;
• ток пучка 50 мА;
• сечение пучка 100 см².

 Имплантация ионов азота в ВТ6.
Энергия 30 кэВ.
Флюенс 3×10¹⁷ см^–2.