|
Лабораторная установка реактивного магнетронного нанесения многокомпонентных покрытий
| Лабораторная установка реактивного магнетронного нанесения многокомпонентных покрытий |
Производитель: ИЭФ УрО РАН, Россия
Нанесение многокомпонентных покрытий, включая диэлектрические, с ионно-лучевым сопровождением и высокочастотным смещением на образцах с площадью поверхности
до 5 см2.
Токопроходы твердооксидного
топливного элемента
|
Mn-Co-O покрытие
|
|
|
|
|
