Определены параметры ионного потока при низкотемпературном (400оС) азотировании аустенитной нержавеющей стали в плазме непрерывного электронного пучка, при которых минимизируется влияние ионного распыления поверхности и обеспечивается максимальная скорость азотирования стали. Азотирование в плазме импульсного (0,1 мс) электронного пучка с высокой скважностью импульсов (~30), не препятствует диффузионному насыщению стали при высокой импульсной плотности тока ионов, что подтверждает доминирующую роль нейтрального атомарного азота в процессе азотирования.
