|
|
|
Параметры ионного источника непрерывного (Пион) и импульсно-периодического (Пульсар) режима генерации пучка.
|
Параметры
|
ПУЛЬСАР
|
ПИОН
|
|
Режим действия
|
Импульсно-периодический
|
Непрерывный
|
|
Рабочий газ
|
Ar, N2, O2 и др.
|
Ar, N2, O2 и др.
|
|
Плотность тока пучка, mA/cm2
|
1 - 10
|
0,1 - 1
|
|
Поперечное сечение пучка, cm2
|
>100
|
>100
|
|
Ускоряющее напряжение, kV
|
10 - 40
|
5 - 40
|
|
Средний ток пучка, mA
|
до 50
|
до 80
|
|
Длительность импульса, ms
|
0,5 - 1
|
-
|
|
Частота повторения, s-1
|
1 - 200
|
-
|
|
Содержание примесей, %
|
0,1 - 5
|
0,1 - 5
|
|
|
